LED Light Emitting Diode Fabrication

発光ダイオード(LED)製造向け製品

Control Chemicals for LED Manufacturing Processes

White Knightのポンプ

White Knightの高信頼性半導体製造向けポンプは、発光ダイオード、フラットパネルディスプレイ、及びその他の電子機器の製造に適しています。 当社の高純度ポンプは数十年にわたる革新的なエンジニアリングと社内製造経験に基づいて製造されているため、White Knightは最も厳しく要求の高い環境でもほとんど保守を必要としない安全で信頼性の高いポンプの提供を可能にしています。ポンプ は、電子機器を製造するために高純度薬品を配送、再循環、補充、及び搬送します。

デモユニットの注文

カスタムテストの開始

White Knight 高純度ベローズポンプ

ベローズポンプ

高純度空圧ダブルベローズポンプは、PTFE及びPFA流路を特長としています。これらの信頼性の高いリークのないポンプは、高流量、安定した圧力、及び安定した温度を提供します。これらは、金属、エラストマーOリング、インペラー、及びモータを内蔵していません。これらは、デッドヘッドに対応し、高吸込揚程で動作可能です。

ベローズポンプ
White Knight 高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプ

ダイヤフラムポンプ

高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプは、PTFE又はUHMW(PE)耐腐食性流路を特長としています。これらの安全で確実なポンプは優れた性能と容易な保守を提供しています。White Knightの シリーズポンプ は、旧式の薬品配送ポンプにそのまま使用できる交換レトロフィットです。

ダイヤフラムポンプ
White Knight Metering Pumps for Chemical Dispense

定量ポンプ

空圧定量ポンプ電子定量ポンプ は、PTFE流路を特長とし、各々最高100 mlと50 mlで供給します。 全面的に支持されているPTFEローリングダイヤフラムは、圧力機能を最大限に引き上げ、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入で、薬品の安全で確実な供給を保証しています。

定量ポンプ
White Knight PPMCミニポンプ

ミニポンプ

最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。 各揚程と供給を作動させます。

ミニポンプ
White Knight High-Purity Back-Pressure Regulators

圧力レギュレータ

複雑な圧力制御システムも追加する事なく、循環ループ及び複数の供給ポイントの流量管理を自動的に圧力制御する事ができます。これらは、完璧に清掃されたPTFE及びPFA流路を特長としています。前方及び背圧レギュレータは遠隔操作。

圧力レギュレータ
White Knight High-Purity Pressure Vessels

圧力容器

White KnightのPTFE及びPFA圧力容器は、使用時に高純度薬品供給用にラミナーフローを提供し、薬品の維持及び混合タンクとして使用します。 これらは、要求の厳しい用途での薬品の供給と混合を可能にする耐薬品性PTFE及びPFA流路を特長としています。

圧力容器
CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

バブル分離器

White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用。大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。

バブル分離器
White Knight 閉ループポンプシステム

高純度閉ループポンプシステム

安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。

お客様の高純度薬液処理及び搬送システムを制御します。プロセスの自動化を簡素化し、時間と資源を節約しコストを低減します。

  • 最高流量140 lpm
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 最高温度210℃
  • 安定した温度を維持
  • 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
高純度閉ループシステム
Accubath Heated Quartz Process Tank Silicon Nitride Etch

Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク

Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…

石英ウェットプロセスタンク
Accubath PVDF QDR Process Tank

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…

高純ウェットプロセスタンク
Accubath Stainless Steel Recirculating Heated Tank

Accubath™ ステンレス鋼ウェットプロセスタンク

Accubath™ ステンレス鋼ウェットプロセスタンク for reliable and safe performance in static and recirculating systems…

SS ウェットプロセスタンク
Accubath XE-Lab System Wet Etch Bath

Accubath™ Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク

Accubath™ サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems PVDF Quick Dump
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Quartz Recirculating
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Stainless Steel

PVDF、石英、またはステンレス鋼メガソニック洗浄装置

Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays, components rated > 50,000 hours MTBF
Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置

White Knight ヒーター

超高純度流体およびガス用ヒーター

Accuheat PFA インライン薬液ヒーター

Accuheat™ PFA インライン薬液ヒーター

Accuheat™ PFA インライン薬液ヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

PFA 薬液ヒーター
Accuheat 石英高純度インライン薬液ヒーター Dual Tube 12000 Watts

Accuheat™ 石英高純度インライン薬液ヒーター

Accuheat™ 石英高純度インライン薬液ヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…

石英高純度薬液ヒーター
Accuheat PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

PFA 溶剤ヒーター
Accuheat Quartz 石英インライン気体ヒーター

Accuheat™ 石英インライン気体ヒーター

Accuheat™ 石英インライン気体ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

石英気体ヒーター
Heateflex Aquarius 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® 脱イオン温水器システム

Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® ヒーター
Heateflex LH1 PVDF PFA 超純インライン流体ヒーター

PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター

PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…

PVDF/PFA ヒーター
Heateflex PFA 超純インライン流体暖房器

PFA 超純インライン流体ヒーター

HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…

PFA ヒーター
Heateflex Vesper PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ ヒーター
Heateflex PFA Immersion Tank Grid Heaters

PFA 浸漬タンクヒーター

浸漬タンクヒーター are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…

PFA 浸漬タンクヒーター
Heateflex N2 ステンレス鋼暖房器

ステンレス鋼 N2 ヒーター

ステンレス鋼 N2 ヒーター are for high-purity wafer drying and parts cleaning. They are suitable for nitrogen, clean dry air (CDA) and other inert gases.

ステンレス鋼 N2 ヒーター
Heateflex 超高純度流体およびガス用暖房器

White Knight 超高純度流体およびガス用ヒーター

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.

Heateflex 流体およびガス用ヒーター
Heateflex と Imtec 旧型モデルヒーター

Aries PFA IPA ヒーター

Aries PFA IPA heaters safely and effectively heat thermally-sensitive fluids such as Isopropyl Alcohol (IPA) and EKC…

旧型モデルヒーター