概要
White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。They redirect flow to the surface so that bubbles rise out of the fluid. 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。弊社のtongue-and-groove シール技術を使い様々な継ぎ手を選択可能。液面検知センサー取り付け可能です。
特長とメリット
- プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用
- 最高圧力0.7MPa（100 psi
- 高い許容圧力により 高流量を実現しプロセスのスピードを速くすることができます
- 最高温度100℃または210℃流体温度
- Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
- Easy setup and maintenance without welding
- 薬液供給及びウエハープロセスにおいてバブル分離
More Information:
CBAシリーズのバブル分離器
CBAシリーズのバブル分離器 are available in various connectable pipe lengths with models capable of up 1-6 liter volumes. They offer additional mounting and liquid level sensor options.
- 最高温度100℃流体温度
- Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
- 必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます
- 最高1-6リットルまで可能なモデル
- Liquid level sensor and mounting options
CBUシリーズのバブル分離器
CBUシリーズのバブル分離器 capable of 最高温度210℃流体温度。They feature Synchro-Thread™, tongue-and-groove seals, and dual-static crush seals to ensure safe, reliable operation at high-temperatures。
- 高い許容最高温度210℃流体温度 を実現しプロセスSynchro-Thread™付きPTFEヘッド
- Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
- リークのないデュアル・スタティック・クラッシュ・シール
- 最高1リットルまで可能なモデル
- Liquid level sight tube options
動作
White Knightのバブル分離器は流体の速度を遅く、方向を変える事により容器にバブルを捕捉します。 容器上部へ捕捉されたバブルによって液面が液面下限センサー検知し 容器ベント弁を開にする事により捕捉されたバブルを排出します。 容器ベント弁がオープンになることで容器内液面が液面上限センサー検知し容器ベント弁を閉にする。
CBAバブル分離器動作
CBUバブル分離器動作
バブル分離器の比較
| バブル分離器モデル | ||
|---|---|---|
PTFE/PFA流路 |
||
最高気温/流体温度 |
100°C |
210°C |
最高供給圧力 |
0.7 MPa (100 psi) |
0.7 MPa (100 psi) |
Maximum Volume |
1-6 L |
1 L |
Tongue-and-Grooveシール |
||
デュアルスタティック・クラッシュ・シール |
||
Synchro-Thread™ |
||
Mounting Bracket Options |
1-3 brackets or base mount |
Base mount |
Sensor Options |
1-3 sensors on body or brackets |
Sensors on liquid level sight tube |
間保証 |
2年間保証 |
2年間保証 |
バブル分離器温度限界
CBAバブル分離器温度限界
CBAバブル分離器温度限界
CBUバブル分離器温度限界
Debubbler Applications
Remove Bubbles After Pumps
Chemical enters the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control the collected air volume in the debubbler. Collected air exits through the vent line.
Remove Bubbles Before Pumps
Chemical is pulled into the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control air collection level to purge the collected air, a vacuum is required to remove collected air. This can be achieved using a venturi-type vacuum.
Automate Drum Change
Level sensors 1 and 2 act to keep bubbles from the drums from continuing through to the pump. Level 3 indicates an empty drum. This can be used as an automatic drum switch or as a drum empty signal.
寸法
インチ（ミリメートル）単位の寸法
CBA 寸法
| mm (in) | A | B |
|---|---|---|
| 1 liter | 295 (11.6) | 132 (5.2) |
| 2 liter | 434 (17.1) | 272 (10.7) |
| 3 liter | 572 (22.5) | 409 (16.1) |
| 4 liter | 798 (31.4) | 632 (24.9) |
| 5 liter | 935 (36.8) | 772 (30.4) |
| 6 liter | 1074 (42.3) | 980 (38.6) |
CBU 寸法
