White KnightのPLFシリーズポンプ

100℃までの制御能力を持つ光ファイバ制御を装備した高純度ポンプ

PF/PLF Series ポンプは2015年12月31日に製造中止となりました。 より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期をお求めなら PFA140 ポンプ にアップグレードしてください。 以下の比較を参照してください。 PF/PLF シリーズポンプは製造中止後5年間サポートが提供されます。

White Knight PLF Series Pumps for Semiconductor

概要

PLF シリースポンプは、Teflon® PTFE及びPFA流路を通して薬品を供給します。 これらは、最高100℃の温度で薬品を配送、最高供給圧力7気圧(100 psi)を実現しています。 PLF シリーズポンプは光ファイバセンサで制御されます。 これらのポンプは、各々最高流量30、60、及び120 lpmで動作可能なPLF030、PLF060、及びPLF120の3つのモデルで提供されています。

White Knightは引き続きPLF シリーズを提供しサポートしますが、ユーザーの皆様には PFA シリーズポンプ。 交換製品は、より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期を提供します。 以下の比較を参照してください。

特長とメリット

  • 金属を使用しないTeflon® PTFE及びPFA液体流路
  • リークのない加工設計
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • シャフト等の摺動部にオイル等の潤滑剤を使用しておりません
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • 各種継手オプション
  • 光ファイバセンサを使用する競合他社の製品と容易に交換
  • ノンメタルで液漏れのない安全な運転を実現
  • ポリプロピレン製ポンプヘッド
  • 最小限の構成部品にて耐久性を高めた設計
  • Class 100クリーンルームでの組み立て、試験及び梱包を行っております
  • 設置と修理が容易
  • PLF30、PLF60、PLF120で各々4億、3億、2億サイクル以上の高信頼性を実証
  • 2年保証で期間中のメンテナンスは不要です
2年間保証
高純度
薬液の搬送 最高圧力7気圧(100 psi)
最高温度100℃
光ファイバセンサで制御されるポンプ

ポンプ 動作

PLF シリーズポンプは、耐久性を増すためにポンプを迅速かつ効率的にシフトすることによってストロークタイミングを最適化するソレノイドバルブと光ファイバで動作します。

Fiber Optic Sensor-Controlled Pump Operations Diagram

シャトルバルブ または 近接センサ

PSA シリーズポンプ は、シャトルバルブで制御されます。
PXA シリーズポンプ は、近接センサで制御されます。

供給空気

排気

大気

シフト信号

液体吸い込み

液体の吐き出し

ポンプ性能 と 寸法

PLF30 性能曲線

White Knightの PLF30性能曲線

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PLF60 性能曲線

White Knightの PLF60性能曲線

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PLF120 性能曲線

White Knightの PLF120性能曲線

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PFA030 性能曲線

White Knightの PFA030性能曲線

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PFA060 性能曲線

White Knightの PFA060性能曲線

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PFA140 性能曲線

White Knightの PFA140性能曲線

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最大流量 比較

PLF30 up to 30 lpm (7 gpm)
PFA030 up to 30 lpm (7 gpm)
PLF60 up to 60 lpm (15 gpm)
PFA060 up to 60 lpm (15 gpm)
PLF120 up to 120 lpm (30 gpm)
PFA140 up to 140 lpm (35 gpm)
PFA シリーズポンプ

ポンプ 仕様

Model
PLF30
PLF60
PLF120
Max Flow Rate*
30 lpm
7 gpm
60 lpm
15 gpm
120 lpm
35 gpm
25.7 lpm
6.79 gpm
66.1 lpm
17.46 gpm
146.7 lpm
38.75 gpm
Size of Air Connection
1/8 or 1/4 in. FNPT
1/4 or 3/8 in. FNPT
1/4 or 3/8 in. FNPT
1/4 in. FNPT
1/4 in. FNPT
3/8 in. FNPT
Displacement Per Cycle*
0.076 liters
0.02 gal
0.189 liters
0.05 gal
0.473 liters
0.12 gal
0.089 liters
0.024 gal
0.216 liters
0.057 gal
0.500 liters
0.132 gal
Cycles Per Minute*
≤ 400
≤ 320
≤ 130
≤ 336
≤ 318
≤ 233
Weight
2.6 kg
5.7 lb
5.2 kg
11.3 lb
17.1 kg
37.6 lb
2.4 kg
5.3 lb
4.7 kg
10.4 lb
15.6 kg
34.4 lb
Suction Lift*
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
Sound Pressure**
72.95 dB(a)
80.35 dB(a)
75.44 dB(a)
83.49 dB(a)
81.98 dB(a)
91.60 dB(a)
69.54 dB(a)
66.58 dB(a))
82.74 dB(a)
82.61 dB(a)
81.98 dB(a)
91.60 dB(a)
Sound Power**
62.42 dB(a)
70.38 dB(a)
66.94 dB(a)
75.73 dB(a)
76.37 dB(a)
83.16 dB(a)
58.44 dB(a)
65.52 dB(a)
71.92 dB(a)
73.84 dB(a)
76.37 dB(a)
83.16 dB(a)
Max Pressure
7 Bar (100 psi)
7 Bar (100 psi)
Max Temperature
100°C (212°F)
100°C (212°F)
Fluid Path Materials
PTFE / PFA
PTFE / PFA
Non-Fluid Path Materials
PTFE / PFA / PP
PTFE / PFA / PP
Stroke Detection Options
Fiber optic with or without sensor
Fiber optic with or without sensor, or solid state pressure switch
Leak Detection Options
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Electronic Control
Available
Available
Model
PLF30
PLF60
PLF120

*May vary depending on configuration. Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 3 ft above source.
**dB Level at 60 psi 50 CPM (top) and 60 psi maximum CPM (bottom). Sound Levels measured in accordance with ISO9614-2:1997.
***Dry-run capable PFASD030 and PFASD060 pumps require flooded suction and may have a reduced warranty unless prior arrangements are made with White Knight. Contact White Knight for details.