定量ポンプ
White Knightの定量ポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。 これらのポンプは、補充、ブレンド、添加、及び混入用途で、高純度薬品を正確に供給します。 これらは、フォトレジスト、エッチング、及びクリーニングプロセスに理想的です。
- マニュアル又は電子的に制御できる自由に調整可能なストローク速度
- 最大50ml又は100mlの供給容量（モデルにより異なる）
- モデルと用途によって異なりますが、最高±0.01%又は±0.1%の再現性を持つ高精度ポンプ
- 腐食や汚染の原因となる露出金属を使用していません
- 高純度アプリケーション向けに完璧に清掃されたPTFE流路
- PEMポンプはプロhグラマブル・システム・ロジックが特長で、2-6ポートを装備可能です
ミニポンプ
PPMCミニポンプは、最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。 ソレノイドバルブは、各揚程と供給を作動させます。
- 最高流量300 ml/分
- 最高1.1MPa（160 psi）の液体吐出圧力を提供します
- 最高圧力0.7MPa（100 psi）
- 最高温度100℃
- 0.5 最高吸込揚程
- 金属を使用しない流路
仕様
| Dispense Range or Max Flow Rate | 1 - 50 ml per stroke |
10 - 100 ml per stroke |
~0.75 ml per stroke |
| Dispense Repeatability | ± 0.01% (Full Scale) |
± 0.1% (Full Scale) |
- |
| Cycles Per Minute | ≤ 6 CPM |
≤ 12 CPM |
≤ 400 CPM |
| Fluid Path Materials | PTFE |
PTFE |
PTFE, PFA |
| Max Air Pressure | 4.14 - 5.86 Bar (60 - 85 PSI) |
4.14 - 5.86 Bar (60 - 85 PSI) |
7 bar (100 psi) |
| Max Discharge Pressure | 5.51 Bar (80 psi) |
5.86 Bar (85 psi) |
11 Bar (160 psi) |
| Temperature Capability | ≤ 100°C (212°F) |
≤ 100°C (212°F) |
≤ 100°C (212°F) |
| Suction Lift | 4.6 m (15 ft) |
4.6 m (15 ft) |
508 mm (20 in) |
| Communication | Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
- |
Turck Connector 5 Pin O-ring Sealed |
| Leak Detection Options | Valve Position Sensing |
Valve Position Sensing |
- |
*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft.) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability. Minimize suction lift to maximize repeatability. Contact White Knight for details.
Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 psi and 60 psi.