White KnightのATシリーズポンプ

最高温度210℃で動作可能なシャトル駆動Teflon® PTFE及びPFAポンプ

AT50 ポンプは2016年12月31日に製造中止となりました。AT300 ポンプは2015年12月31日に製造中止となりました。 より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期をお求めなら PSU140 ポンプ にアップグレードしてください。 AT50 と AT300 ポンプは製造中止後5年間サポートが提供されます。

White Knight AT Series Pumps for Semiconductor

概要

ATシリーズポンプは、世界初の金属を全く使用していないTeflon® PTFE及びPFA製ポンプで、コンスタント又は熱循環アプリケーションにおいて最高210°Cの温度で薬品を分配供給することができます。 これらのポンプは、保証期間にわたって安全で確実な連続運転を保証しています。 これらは、最高供給圧力0.4MPa(60 psi)で動作可能です。 これらのポンプは、各々最高流量20、40、及び110 lpmで動作するAT50、AT100、及び AT300HD 3種類のモデルで提供されます。

White Knightは引き続きAT シリーズを提供しサポートしますが、ユーザーの皆様には PSU シリーズポンプ。 交換製品は、より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期を提供します。 以下の比較を参照してください。

特長とメリット

  • 金属を使用しないTeflon® PTFE及びPFA液体流路
  • リークのない加工設計
  • Synchro-Thread™付きTeflon® PTFEヘッド
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • シャフト等の摺動部にオイル等の潤滑剤を使用しておりません
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • Pneumatic Logic™は、ポンプの振動と液体の脈動を最小限に抑えます
  • 各種継手オプション
  • ノンメタルで液漏れのない安全な運転を実現
  • エア・シャトル・バルブ内のセラミック
  • 最小限の構成部品にて耐久性を高めた設計
  • Class 100クリーンルームでの組み立て、試験及び梱包を行っております
  • 設置と修理が容易
  • 2億サイクル以上の高信頼性を実証
  • 1年保証で期間中のメンテナンスは不要です
1年間保証
高純度
薬液の再循環 最高圧力4気圧(60 psi)
最高温度210℃
オンボード・シャトルバルブで制御されるポンプ

ポンプ 動作

AT シリーズポンプは、振動、脈動、及び磨耗を最小限に抑えることによって性能と信頼性を向上するWhite KnightのPneumatic Logic™、戻り止めなしのシャトルバルブ設計を特長としています。

オンボード・シャトルバルブ(Air 切り替え)で制御されるポンプ

光ファイバケーブル または 近接センサ

PFU シリーズポンプ は光ファイバセンサで制御されます。
PXU シリーズポンプ は、近接センサで制御されます。

供給空気

排気

大気

液体吸い込み

液体の吐き出し

ポンプ性能 と 寸法

AT50 性能曲線

White Knightの AT50性能曲線

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AT100 性能曲線

White Knightの AT100性能曲線

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AT300HD 性能曲線

White Knightの AT300HD性能曲線

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PSU030 性能曲線

White Knightの PSU030性能曲線

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PSU060 性能曲線

White Knightの PSU060性能曲線

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PSU140 性能曲線

White Knightの PSU140性能曲線

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最大流量 比較

AT50 up to 20 lpm (5 gpm)
PSU030 up to 30 lpm (7 gpm)
AT100 up to 40 lpm (10 gpm)
PSU060 up to 60 lpm (15 gpm)
AT300HD up to 110 lpm (30 gpm)
PSU140 up to 140 lpm (35 gpm)
PSU シリーズポンプ

ポンプ 仕様

Model
AT50
AT100
AT300HD
Max Flow Rate*
20 lpm
5 gpm
40 lpm
10 gpm
110 lpm
30 gpm
26.2 lpm
6.92 gpm
62.2 lpm
16.43 gpm
123 lpm
32.5 gpm
Size of Air Connection
1/4 in FNPT
1/4 in FNPT
3/8 in FNPT
1/4 in FNPT
1/4 in FNPT
3/8 in FNPT
Displacement Per Cycle*
0.056 liters
0.015 gal
0.151 liters
0.040 gal
0.606 liters
0.16 gal
0.074 liters
0.019 gal
0.178 liters
0.047 gal
0.50 liters
0.132 gal
Cycles Per Minute*
≤ 400
≤ 275
≤ 175
≤ 333
≤ 348
≤ 273
Weight
5.8 kg
12.9 lb
13.0 kg
28.6 lb
28.3 kg
62.4 lb
6.4 kg
14.1 lb
15.2 kg
33.4 lb
22.7 kg
50.0 lb
Suction Lift*
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
Sound Pressure**
70.36 dB(a)
74.91 dB(a)
72.38 dB(a)
79.12 dB(a)
74.80 dB(a)
82.31 dB(a)
74.00 dB(a)
79.90 dB(a)
73.11 dB(a)
82.50 dB(a)
81.98 dB(a)
91.60 dB(a)
Sound Power**
59.79 dB(a)
64.91 dB(a)
64.31 dB(a)
71.98 dB(a)
69.24 dB(a)
77.17 dB(a)
63.01 dB(a)
69.90 dB(a)
64.29 dB(a)
74.11 dB(a)
76.37 dB(a)
83.16 dB(a)
Max Pressure
4 Bar (60 psi)
7 Bar (100 psi)
Max Temperature
210°C (410°F)
210°C (410°F)
Fluid Path Materials
PTFE / PFA
PTFE / PFA
Non-Fluid Path Materials
PTFE / PFA / ceramic
PTFE / PFA / ceramic
Stroke Detection Options
Fiber optic with or without sensor, or solid state pressure switch
Fiber optic with or without sensor, or solid state pressure switch
Leak Detection Options
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Electronic Control
Available
Available
Model
AT50
AT100
AT300HD

*May vary depending on configuration. Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 3 ft above source.
**dB Level at 60 psi 50CPM (top) and 60 psi maximum CPM (bottom). Sound Levels measured in accordance with ISO9614-2:1997.
***Dry-run capable PSUSD030 and PSUSD060 pumps require flooded suction and may have a reduced warranty unless prior arrangements are made with White Knight. Contact White Knight for details.