CMPスラリー

化学機械研磨(CMP)用スラリー

化学機械研磨用ポンプ

White Knightの高純度ポンプは、スラリーを静かにポンピングしながらシアを防止するために脈動を低減するPneumatic Logic™を特長としています。 これらのポンプは長寿命で、ほとんの要求の厳しい薬品環境で信頼性の高い稼働を実証しています。

White KnightのPSDシリーズ空圧ダブルダイヤフラム(AODD)ポンプは、PTFE又はUHMW(PE)対腐食性流路を特長としています。UHMW (PE)流路を装備したPSDシリーズポンプは、研磨スラリーで超寿命を提供しています。

デモユニットの注文

White Knight High-Purity Chemical Pumps

PSAシリーズポンプ

White KnightのPSA060及びPSA140ポンプは、各々最高流量60、及び140 lpmで動作可能です。 これらは、最高100℃の温度で薬品を配送、最高供給圧力7気圧(100 psi)で動作可能です。 これらは金属部品を一切使用せず、PTFE及びPFA流路を特長としています。 詳細: PSAシリーズポンプ

White Knight High-Purity Pneumatic Double-Diaphragm Pumps

PSDシリーズポンプ

White Knightの PSDシリーズポンプ は、腐食性薬品の経済的な大量搬送を実現します。 1/2インチPSD08、1インチPSD16、及び1-1/2インチPSD24は、各々60 lpm、140 lpm、及び320 lpmのポンプ能力を提供します。 詳細: PSDシリーズポンプ

ポンプの性能比較

PSA060 性能曲線

PSD08 性能曲線

PSA140 性能曲線

PSD16 性能曲線

PSD24 性能曲線

流量を比較

PSA060 - 62 lpm (16 gpm)
PSD08 - 63 lpm (16.5 gpm)
PSA140 - 123 lpm (32 gpm)
PSD16 - 142 lpm (37.5 gpm)
PSD24 - 322 lpm (85.2 gpm)
White Knight 閉ループポンプシステム

高純度閉ループポンプシステム

安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。

White Knightの閉ループシステムは、高純度薬品処理及び配送に完璧な制御を提供しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。

  • 最高流量140 lpm
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 最高温度210℃
  • 安定した温度を維持
  • 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
高純度閉ループシステム

White Knightが提供するメリットと技術的利点

White Knightの技術者は、優れた流体処理技術を開発しています。我々は、製造環境での高品質材料と純度の重要性を理解しています。 我々は、業界で最高の保証を提供することで、最も純粋で、清浄なポンプを保証することに全力を尽くします。