White Knightの 定量ポンプ は、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。 これらの定量ポンプは、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けだけでなくCVD装置の洗浄やフォトリソグラフィ向けに、設計されました。 これらは、基板導入に先立ち、フォトレジスト、エッチング及びクリーニングプロセス、ピラニア混合物内への過酸化物添加、及びその他の薬品混合物をプロセスタンクにブレンドする用途に理想的です。
- 自由に調整可能なストローク速度
- 保守が不要な安全でリークのない動作
- 腐食や汚染の原因となる露出金属を使用していません
- 高純度薬品向けに完璧に清掃されたPTFE流路
- PPハウジング付きPTFEローリングダイヤフラム
- どんな向きでも容易に設置
定量ポンプ
最大50 mlを±0.01%の再現性で供給することができる調整可能ストロークを装備した PEM050電子定量ポンプ。 これらは、プログラマブルなシステムロジックと完璧にサポートしたローリングダイヤフラムを採用することで、60-80 psiの圧力で動作可能です。 これらは、プログラマブルなシステムロジックで個別に制御できる最大で5つのポートを提供しています。
PEM050電子定量ポンプ
PPM100空圧定量ポンプ は、最高100 mlの腐食媒体を±0.01%の再現性で供給します。これらは、調整可能なストロークと完璧にサポートしたローリングダイヤフラムを採用することで、60-85 psiの圧力で動作可能です。 2つのポジティブ・コントロール・バルブが、チェックバルブに典型的なばらつきを解消し精度を保証しています。
PPM100空圧定量ポンプ
薬液の調合及び添加のヒーター
Heateflex Ultra-Pure Fluid Blending & Mixing Systems
概要
Mixing and blending are often the most demanding operations in chemical process applications. Heateflex engineers solutions for industries that rely heavily on mixing, blending and heating technology, such as found in the semiconductor, life science, and food & beverage industries. Heateflex tools enable fast blend times, with added flexibility, ease of cleaning, and a range of customized features that are carefully designed to optimize scale-up and to ensure effective and efficient mixing.
Heateflex also incorporates blending technologies in temperature trimming applications where precise degree control is of utmost importance. Our patented technologies achieve accurate and consistent DI water temperatures by successfully blending cool/ambient water with heated supply water.
製品
Fluidix® 蒸気で動脱イオン（DI）温水器システム
Fluidix® 蒸気で動脱イオン（DI）温水器システム offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…
Fluidix® Heaters
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム
Aquarius® deionized (DI) water heaters are the perfect solution for high-purity DI Water heating applications that require highly accurate temperature control. Its Power-to-Flow Control® feature provides one of the most accurate temperature controls available in DI water heating systems, and it eliminates undesirable overshoots or drops in temperature due to inadequate PID controllers. Aquarius® systems are engineered to deliver high flows of continuous, at-temperature, hot DI water.
- Ultra-pure design with PVDF/PFA wetted surfaces
- Programmable logic controller delivers enhanced temperature stability
- No N2 purge required
- Plug-and-play system with fully integrated controls
- High-resolution touch-screen
- Save costs by reducing the need for multiple immersion heaters
Aquarius® DI Water Heater Systems
White Knightが提供するメリットと技術的利点
White Knightの技術者は、優れた流体処理技術を開発しています。我々は、製造環境での高品質材料と純度の重要性を理解しています。 我々は、業界で最高の保証を提供することで、最も純粋で、清浄なポンプを保証することに全力を尽くします。
